可以由レチクル像的精密临摹的细微模式形成的曝光装置。
根据投影镜头光学系的新设计，高性能的曝光成为可能，能在各式各样的领域当中使用。而且，由于组件设计，接受要求的版本升级容易。
ABS 加工用：在磁气头的 Row 上施行 ABS 加工，形成为了头浮出控制的类型的曝光机（ABS：Air Bearing Surface ）

●TTR ※方式由高精确度调准
更加观察时大大地转换NA，使之提高着条准制度。※TTR ：Through The Reticle
●总计处理量大幅提高
阶段高速化之外又加上，处理·控制的增加速度，最优化处理量大幅度提高了。
●简单操作
在 OS 上采用Windows XP ，实现良好的操作性。根据运算子模式、工程师模式的切换，从基本操作到高超的操作的学得容易。
●以小型的的尺寸省空间
用小型的的尺寸实现高刚性，省空间也贡献。
●采用新设计的自动焦点方式
●设置．立缩短时间
从设置立提高的时候，不需要特别的调整工作，能缩短时间，线引进容易。

◆曝光机本体
架台　超高压水银灯和照明光学系 网用台
观察光学系　投影镜头　样品用台 自动焦点装置
◆架部
计算机、自动焦点控制器、镜台驱动程序、马达控制器
◆其它
超高压水银灯用电源（本体架的台下部设置）、电缆类